KLA-Tencor公司今日宣布推出兩款全新缺陷檢測產品，旨在解決各類集成電路（IC）所面臨的封裝挑戰(zhàn)。 Kronos? 1080系統(tǒng)為先進封裝提供適合量產的、高靈敏度的晶圓檢測，為工藝控制和材料處置提供關鍵的信息。 ICOS? F160系統(tǒng)在晶圓切割后對封裝進行檢查，根據關鍵缺陷的類型進行準確快速的芯片分類，其中包括對側壁裂縫這一新缺陷類型（影響高端封裝良率）的檢測。這兩款全新檢測系統(tǒng)加入KLA-Tencor缺陷檢測、量測和數(shù)據分析系統(tǒng)的產品系列，將進一步協(xié)助提高封裝良率以及芯片分類精度。

　　“隨著芯片縮小的速度逐漸放緩，芯片封裝技術的進步已成為推動元件性能的重要因素，”KLA-Tencor高級副總裁兼首席營銷官Oreste Donzella表示， “針對不同的元件應用，封裝芯片需要同時滿足各種元件性能、功耗、外形尺寸和成本的目標。因此，封裝設計更加復雜多樣，具有不同的2D和3D結構，并且每一代都更加密集而且尺寸更小。與此同時，封裝芯片的價值在大幅增長，電子制造商對于產品質量和可靠性的期望也在不斷地提升。為了滿足這些期望，無論是芯片制造廠的后道工序還是在外包裝配測試（OSAT）的工廠，封裝廠商都需要靈敏度和成本效益更高的檢測、量測和數(shù)據分析，同時需要更準確地識別殘次品。我們的工程團隊因而開發(fā)出全新Kronos 1080和ICOS F160系統(tǒng)，可以針對各種封裝類型，滿足電子行業(yè)對于適合量產的缺陷檢測不斷增長的需求。”

　　Kronos 1080系統(tǒng)旨在檢測先進晶圓級封裝工藝步驟，為在線工藝控制提供各種缺陷類型的信息。先進封裝技術必然包含更小的特征、更高密度的金屬圖案和多層再分布層 - 所有這些都對檢測不斷地提出更高要求，并要求創(chuàng)新的解決方案。 Kronos系統(tǒng)采用多模光學系統(tǒng)和傳感器以及先進的缺陷檢測算法，從而實現(xiàn)了領先業(yè)界的性能。 Kronos系統(tǒng)還引入了FlexPointTM，一項源自KLA-Tencor領先的IC芯片制造檢測解決方案的先進技術。 FlexPoint將檢測集中在芯片的關鍵區(qū)域，因為這些區(qū)域內的缺陷會產生最大的影響。靈活的晶圓處理能夠檢測高度扭曲晶圓，這經常會出現(xiàn)這扇出型晶圓級封裝中 – 該封裝工藝對移動應用已是常規(guī)技術，并且是網絡和高性能計算應用中的新興技術。

　　晶圓級封裝通過測試和切割之后，ICOS F160執(zhí)行檢測和芯片分類。高端封裝（如移動應用）的制造商，將受益于該系統(tǒng)的新功能 -- 檢測激光溝槽、發(fā)絲裂縫和側壁裂縫。這是由密集金屬布線上的所采用的新絕緣材料引起的，改變絕緣材料是為了提高速度并降低功耗。新材料易碎，使其在晶圓切割過程中容易出現(xiàn)裂縫。眾所周知，側壁裂縫非常難以檢測，因為它們垂直于芯片表面，因而無法用傳統(tǒng)的目測檢測發(fā)現(xiàn)。 ICOS F160系統(tǒng)的靈活性也是其另外一優(yōu)勢，使其有利于許多封裝類型：輸入和輸出模式可以是晶圓、托盤或磁帶。系統(tǒng)可以輕松地從一種設置改換到另一種設置。其自動校準和精密芯片攫取也有助于提高批量制造環(huán)境中的設備利用率。

　　Kronos 1080和ICOS F160系統(tǒng)是KLA-Tencor封裝解決方案系列產品的一部分，旨在滿足各種IC封裝類型的檢測、量測、數(shù)據分析和芯片分類的需求。該系列產品包括CIRCL?-AP全表面晶圓檢測系統(tǒng)，用于晶圓和面板的Zeta-580/680 3D量測系統(tǒng)，ICOS? T890，T3和T7系列元件檢測和量測系統(tǒng)，以及Klarity? 數(shù)據分析系統(tǒng)。