自科創板推出以來，一大批集成電路企業積極備戰科創板，目前包括安集科技、中微公司、瀾起科技、華興源創、睿創微納、樂鑫科技、晶晨股份、以及上海晶豐明源在內的多家企業已經成功闖關。不過在這些企業中，鮮少有涉及半導體設備的相關企業。

　　值得關注的是，目前一家來自北京的光刻機生廠商也計劃登錄科創板。近日，北京證監局披露了關于北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科”）首次公開發行股票并在科創板上市輔導工作報告(第三期)。

　　根據官網顯示，華卓精科注冊資金9600萬， 成立時間為2012年5月9日，由清華IC裝備團隊在清華大學及其下屬“北京-清華工業技術研究院”和02專項的支持下創立，主要面向國內外的IC制造、光學、超精密制造等行業，致力于為行業提供整機裝備、核心子系統、關鍵零部件和定制服務，主營產品包含高端整機、超精密運動系統、精密儀器設備和高端特種制造等方面。現在已經成功推出了光刻機雙工件臺、精密隔振、超精密運動系統、關鍵零部件等系列化產品。

　　華卓精科表示，其核心戰略產品光刻機雙工件臺，打破了ASML公司在工件臺上的技術壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件臺核心技術的公司。資料顯示，華卓精科生產的光刻機雙工件臺主要應用于65nm及以下節點的ArF干式、浸沒式步進掃描光刻機、KrF步進掃描光刻機，單臺系列產品應用于i線、g線步進掃描光刻機及封裝光刻機等。

　　2018年半年報顯示，華卓精科上半年實現營收3193.03萬元，同比增長44.53%；實現歸屬于掛牌公司股東的凈利潤683.67萬元，同比下滑10.34%，凈利潤減少的主要原因是2018年公司加大研發投入，自主研發支出比上年同期增長374萬元，費用化后導致凈利潤減少。

　　事實上，早在2015年，華卓精科曾在新三板掛牌上市，但在2019年2月13日終止新三板掛牌。而在退市之前，華卓精科分別在2018年10月和11月分別進行了8700萬元的戰略融資以及7587.5萬元的定向增發，其中增發募集的7587.50萬元資金，主要用于公司半導體裝備關鍵零部件研發制造項目、補充流動資金、償還銀行貸款、購買土地使用權。