《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > 其他 > 其他 > 一文看懂OLED生產技術

一文看懂OLED生產技術

2020-08-15
來源:21ic

OLED主流生產技術

蒸鍍技術

首先,要了解蒸鍍技術,這得從OLED的結構講起。如下圖所示,典型結構是在ITO玻璃上制作一層幾十納米厚的發光材料,ITO透明電極和金屬電極分別作為器件的陽極和陰極電極加電壓,在一定電壓驅動下,電子和空穴分別從陰極和陽極注入到電子和空穴傳輸層,電子和空穴分別經過電子和空穴傳輸層遷移到發光層,并在發光層中相遇復合,形成激子并使發光分子激發,后者經過輻射弛豫而發出可見光。輻射光可從ITO一側觀察到,金屬電極膜同時也起了反射層的作用。

91.jpg

OLED結構原理圖

當然了,具體到整塊面板,結構也就復雜很多,包括次像素間需要隔離柱、絕緣層之類。AMOLED則還有TFT backplane這種控制每個像素開關的東西。

92.jpg

OLED像素結構示意圖

簡單來說,蒸鍍就是真空中通過電流加熱,電子束轟擊加熱和激光加熱等方法,使被蒸材料蒸發成原子或分子,它們隨即以較大的自由程作直線運動,碰撞基片表面而凝結,形成薄膜。

蒸鍍技術制造OLED面板的核心設備是蒸鍍機,而這個設備在面板制造企業的上游,主要供應商是佳能旗下一間名為Canon Tokki的企業。隨著全球 OLED市場的風起云涌,Tokki公司不斷投入開發產能,但是仍然難以滿足客戶的需要。據說,Tokki一年的蒸鍍機產能也就區區幾臺而已,如LG Display這樣的大客戶也不得不因為蒸鍍機數量有限而無奈的失去蘋果訂單。

93.jpg

PMOLED的典型工藝流程

(備注:PMOLED也屬于OLED,但結構比AMOLED簡單,沒有TFT。)

印刷技術

OLED屏幕每個像素“燈泡”除了是蒸上去的,還可以選擇“印”出來。用噴墨打印機來舉個例子,噴墨打印機是把墨水噴到紙上,從而呈現出文稿或圖片。而印刷顯示是使用印刷方式制作顯示器的有機材料膜層,是一種工藝方法。實現了印刷顯示后,可以印刷不同面板,如果“噴”的是OLED材料,那就是 OLED面板;“噴”的是量子點材料,那就是量子點顯示面板。印刷OLED,簡單說,就是通過噴墨印刷設備上的多個印刷噴頭,將不同顏色的聚合物發光材料溶液精確的沉積在ITO玻璃基板的隔離柱槽中,溶劑揮發后會形成100納米左右厚度的薄層,構成可發光的像素。

為什么說印刷顯示技術是下一代顯示革命?真空蒸鍍工藝,受限于設備與技術,很難制作大尺寸精細金屬掩模板,導致該工藝無法應用在大尺寸面板的制造上。蒸鍍過程中, 有機材料氣體無差別沉積在玻璃基板上,導致材料利用率低。也許由于不需要真空蒸鍍腔體、不需要精密金屬掩模板、不需要彩色濾光片等等,松下在2013年的 CES展會上,展示了一種采用自主研發“印刷”工藝的、而且據他們自己說是當時全球最大4K OLED電視(56寸)。

印刷OLED有哪些優勢足以挑戰相對成熟的蒸鍍技術呢?首先就是成本低廉,在OLED面板的原材料使用上,印刷OLED就比蒸鍍技術節省90%;印刷OLED技術可以有效提升成品的壽命;噴墨打印的制程要比蒸鍍制程更容易適應大基板的切割的需要,這更利于高代線處理大尺寸基板的趨勢。

94.jpg

印刷OLED實現技術示意圖

據業界人士的介紹稱,印刷OLED最大的瓶頸在于每一個微小印刷點之間的差異性控制(減小像素間的差異),以及對于極小亞像素單位印刷的設備研發(提升設備精度)。前者是整個印刷顯示行業的關鍵瓶頸,后者則主要是對于中小尺寸顯示產品而言的問題。或者說,對于印刷OLED,油墨穩定性不是最終的大問題,設備精度和穩定性才是真正的考驗。這個問題恰恰必須在建立示范性生產線后才能真正從工程上解決。

國內華星光電聯合國內多家印刷顯示骨干單位,共同建立全國第一個“印刷顯示技術和材料技術創新聯盟”,搭建印刷及柔性顯示公共技術服務平臺,并以廣東聚華印刷顯示技術有限公司作為平臺運營實體。

51.jpg

OLED屏幕顏色三種實現方案

上面提到的這種高端大氣上檔次的“蒸鍍”法,主要應用于RGB三色排列的典型OLED屏幕。三星的諸多OLED電視產品都是基于這種方法蒸鍍出來的,效果很不錯,三原色都非常純粹,但成本非常高昂。這類蒸鍍所用的技術叫FMM,精細金屬掩模板,就是蒸鍍的時候為了區分像素,蓋個掩膜,所以對齊的問題,以及掩膜材料本身都會成為技術難點。

實際上,人類為了控制成本,OLED電視不止上述一種,有一類藍光+色變換層:這種方案只需要蒸鍍藍光OLED元件,經過變換層將光轉為RGB三色,這類技術受到色彩轉換器開發難度的限制,并未被大規模采用。

還有一類OLED電視是白光+三種彩色濾光片,原理上和LCD液晶面板有些類似,以白色為背光,再加彩色濾光片—這種方式在成本上顯然就低了很多,LG就曾以這種方案生產OLED電視,白光OLED +彩色濾光片也一度被認為是OLED進一步實現低成本的方案。只不過加上濾光片,透光率光色純度都更成問題,所以亮度、對比度、色彩、節能表現理論上都不及RGB OLED。

AMOLED平板顯示研發過程和技術難點

AMOLED技術的開發主要涉及到TFT背板和OLED器件兩個方面。在技術路線的選擇上,目前國際上尚未統一,有多種技術方案在開發中。

發光器件即OLED的性能決定了AMOLED顯示屏的色彩表現力、功耗等品質,因此OLED器件技術的開發對產品競爭力的提高具有非常重要的意義。 OLED器件制備技術主要有兩個關鍵點,一個是開發高遷移率的傳輸材料和高效率、長壽命發光材料,另一個是開發新型器件結構,提高器件性能。因此,開發新型有機材料、設計新型器件結構和改進真空蒸鍍技術將是研究的重點。

目前,TFT背板中的溝道層半導體材料主要有非晶硅(a-Si)、微晶硅(μ-Si)、低溫多晶硅(LTPS)、單晶硅、有機物和氧化物等。由于 OLED是電流驅動型器件,需要穩定的電流來控制發光特性。為了達到足夠的亮度,AMOLED需要TFT的溝道材料具有較高的遷移率,以提供較高的電流密度,因此目前普遍應用于TFT-LCD中的非晶硅TFT由于遷移率較低很難滿足要求。另外,與TFT-LCD所不同的是,AMOLED需要TFT長時間處于開啟狀態,非晶硅TFT的閾值電壓漂移問題也使其很難應用在AMOLED中。從技術發展現狀來看,較有希望的是LTPS TFT和氧化物TFT等技術,但也存在很多難點。

目前,應用在AMOLED中最成熟的TFT背板技術是低溫多晶硅(LTPS)技術。在LTPS技術中,最重要的工藝難點即為多晶硅溝道層的制備。工藝流程中首先使用PECVD等方法在不含堿離子的玻璃基板上淀積一層非晶硅,而后采用激光或者非激光的方式使非晶硅薄膜吸收能量,原子重新排列以形成多晶硅結構,從而減少缺陷并得到較高的電子遷移率。

對LTPS結晶化技術而言,激光結晶化技術尤其是準分子激光退火(ELA)技術目前在小尺寸應用方面已經較為成熟,全球已經量產的AMOLED產品基本都使用了ELA技術。ELA技術的難點在于TFT的一致性問題,各像素間TFT特性的不同導致OLED的發光強度出現不均勻,進而導致面板成品率無法保障,因此提高ELA技術制備的TFT一致性一直是國內外各單位研發的重點。另外,ELA技術在大尺寸基板的量產方面也存在較大的問題。

另一方面,非激光結晶化技術在實現大尺寸基板量產并降低成本,以及在TFT均勻性方面具有很大優勢。但非激光結晶化技術在現階段也同樣存在著技術難題。其中金屬誘導晶化(MIC)技術因為金屬污染導致的漏電流等問題,使得缺陷和壽命問題很難解決;固相結晶化(SPC)技術在大尺寸AMOLED的制備上具有較大的綜合性優勢,但其載流子遷移率與激光結晶化技術相比較低,而且在量產技術方面仍然需要進一步完善。

AMOLED制作工藝

LTPS-AMOLED的制作工藝囊括了顯示面板行業的諸多尖端技術,其主要分為背板段,前板段以及模組段三道工藝。 背板段工藝通過成膜,曝光,蝕刻疊加不同圖形不同材質的膜層以形成LTPS(低溫多晶硅)驅動電路,其為發光器件提供點亮信號以及穩定的電源輸入。其技術難點在于微米級的工藝精細度以及對于電性指標的極高均一度要求。

鍍膜工藝是使用鍍膜設備,用物理或化學的方式將所需材質沉積到玻璃基板上(2);

曝光工藝是采用光學照射的方式,將光罩上的圖案通過光阻轉印到鍍膜后的基板上(3、4、5);

蝕刻工藝是使用化學或者物理的方式,將基板上未被光阻覆蓋的圖形下方的膜蝕刻掉,最后將覆蓋膜上的光阻洗掉,留下具有所需圖形的膜層(7、8)。

52.jpg

驅動背板工藝流程圖

前板段工藝通過高精度金屬掩膜板(FMM)將有機發光材料以及陰極等材料蒸鍍在背板上,與驅動電路結合形成發光器件,再在無氧環境中進行封裝以起到保護作用。蒸鍍的對位精度與封裝的氣密性都是前板段工藝的挑戰所在。

高精度金屬掩膜板(FMM):其主要采用具有極低熱變形系數的材料制作,是定義像素精密度的關鍵。制作完成后的FMM由張網機將其精確地定位在金屬框架上并送至蒸鍍段(2);

蒸鍍機在超高真空下,將有機材料透過FMM蒸鍍到LTPS基板限定區域上(3);

蒸鍍完成后將LTPS基板送至封裝段,在真空環境下,用高效能阻絕水汽的玻璃膠將其與保護板進行貼合。玻璃膠的選用及其在制作工藝上的應用,將直接影響OLED的壽命(5、6)。

53.jpg

有機鍍膜段工藝流程圖

模組段工藝將封裝完畢的面板切割成實際產品大小,之后再進行偏光片貼附、控制線路與芯片貼合等各項工藝,并進行老化測試以及產品包裝,最終呈現為客戶手中的產品。

切割:封裝好的AMOLED基板切割為面板(pannel)(1);

面板測試:進行面板點亮檢查(2);

偏貼:將AMOLED面板貼附上偏光板(3);

IC+FPC綁定:將驅動IC和柔性印刷線路板(FPC)與AMOLED面板的鏈接(4);

TP貼附:將AMOLED面板與含觸控感應器的強化蓋板玻璃(cover Lens)貼合(5);

模組測試:模組的老化測試與點亮檢查(6)。

54.jpg

模組段工藝流程圖


本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
亚洲一区二区欧美_亚洲丝袜一区_99re亚洲国产精品_日韩亚洲一区二区
亚洲永久免费| 亚洲国产经典视频| 在线成人小视频| 国产一区二区高清| 国产精品一区二区久激情瑜伽| 欧美日韩国产色视频| 欧美激情精品久久久久久久变态 | 蜜桃精品一区二区三区 | 尤物yw午夜国产精品视频| 国产一区二区三区免费不卡| 国产精品久久久一区二区| 国产精品久久久久久久久久久久久久| 欧美性做爰毛片| 欧美午夜精品久久久久久超碰| 欧美日韩直播| 国产精品白丝av嫩草影院| 一区二区高清在线观看| 国产亚洲一本大道中文在线| 国产欧美精品一区二区色综合 | 久久久久久9999| 久久精品一二三区| 久久久之久亚州精品露出| 久久久一二三| 欧美成人精品| 欧美日韩国产小视频| 国产精品成人免费视频| 国产精品视频午夜| 国产偷久久久精品专区| 一区二区三区无毛| 亚洲精品一二区| 亚洲一级片在线看| 久久精品99国产精品| 91久久久久| 99国产精品久久久久久久| 中文在线不卡| 欧美亚洲一区二区三区| 久久精品综合一区| 久久久久久久网| 欧美黄色免费网站| 国产精品国产三级国产普通话蜜臀| 国产欧美视频一区二区三区| 在线成人免费观看| 一区二区三区www| 久久国产精品久久国产精品| 亚洲看片一区| 性做久久久久久| 免费看的黄色欧美网站| 欧美日韩一区在线视频| 国产三级精品三级| 在线观看亚洲一区| 中文在线资源观看视频网站免费不卡| 欧美亚洲视频在线看网址| 亚洲激情欧美激情| 亚洲综合日韩| 久久夜精品va视频免费观看| 欧美日韩在线观看视频| 国产主播一区| 一本高清dvd不卡在线观看| 午夜视频久久久| 一本色道久久88亚洲综合88| 欧美自拍偷拍| 欧美日韩一区二区视频在线观看| 狠狠久久综合婷婷不卡| 亚洲三级色网| 久久av一区二区三区亚洲| 在线视频欧美日韩精品| 久久精品国产一区二区电影| 欧美日本中文字幕| 狠狠噜噜久久| 亚洲一区欧美一区| 99re6热在线精品视频播放速度| 久久国产精品99国产精| 欧美激情一区在线观看| 国产一区视频网站| 久久不射中文字幕| 亚洲在线观看视频网站| 久久青草欧美一区二区三区| 欧美日韩一区二区三区| 激情五月婷婷综合| 亚洲神马久久| 亚洲另类一区二区| 久久精品国产清自在天天线 | 亚洲大片精品永久免费| 亚洲一区黄色| 一区二区激情视频| 久久婷婷国产综合精品青草| 国产精品毛片va一区二区三区| 亚洲日韩欧美视频| 亚洲国产成人久久综合| 先锋影音久久久| 欧美日韩无遮挡| 亚洲国产精品激情在线观看| 欧美在线亚洲在线| 欧美一级大片在线免费观看| 欧美日韩日日骚| 亚洲黄色片网站| 亚洲国产精品精华液2区45| 久久超碰97中文字幕| 国产精品每日更新| 在线性视频日韩欧美| 99在线|亚洲一区二区| 免费看成人av| 136国产福利精品导航网址| 欧美午夜视频在线观看| 亚洲高清激情| 欧美在线亚洲在线| 国产精品成人观看视频免费| 亚洲四色影视在线观看| 欧美一区激情| 午夜精品视频网站| 国产精品久久久久999| 日韩视频专区| 一本久久a久久精品亚洲| 欧美激情一区二区三区在线| 亚洲成色www久久网站| 亚洲福利在线看| 久久在线播放| 一区二区亚洲精品国产| 亚洲电影av| 亚洲高清毛片| 性欧美长视频| 午夜久久久久久久久久一区二区| 欧美日韩国产在线| 亚洲精品你懂的| 夜夜精品视频一区二区| 欧美肥婆在线| 亚洲国产精品一区二区尤物区| 亚洲国产欧美日韩另类综合| 久久国产直播| 欧美一区二区在线观看| 国产精品视频大全| 亚洲一区不卡| 国产精品网站在线观看| 一区二区三区在线视频免费观看| 香蕉久久夜色精品国产使用方法| 久久精品视频va| 一区二区日本视频| 91久久久在线| 欧美成人综合| 亚洲毛片在线| 午夜老司机精品| 国产日韩精品视频一区二区三区| 欧美在线观看视频| 欧美成人精品h版在线观看| 亚洲精品欧美日韩专区| 亚洲一区中文字幕在线观看| 国产精品自拍一区| 久久精品91久久久久久再现| 欧美成人日本| 亚洲免费播放| 久久国产精彩视频| 美女黄毛**国产精品啪啪| 亚洲国产精品精华液2区45| 艳女tv在线观看国产一区| 国产精品国产精品| 久久成人国产| 欧美日韩视频一区二区| 亚洲欧美视频在线观看视频| 久久综合九色综合欧美就去吻| 亚洲欧洲综合另类| 亚洲人在线视频| 亚洲综合导航| 久久久久久国产精品一区| 一区二区三区亚洲| 一区二区三区**美女毛片 | 亚洲图片欧洲图片日韩av| 亚洲欧美视频| 黄色成人在线| 99精品热6080yy久久 | 欧美一区2区视频在线观看| 在线电影国产精品| 夜夜嗨一区二区三区| 国产欧美日韩免费看aⅴ视频| 91久久精品日日躁夜夜躁欧美| 欧美亚洲不卡| 亚洲国产精品高清久久久| 欧美性片在线观看| 亚洲国产精品999| 国产精品成av人在线视午夜片| 欧美在线视屏| 国产精品久久国产三级国电话系列 | 久久精品国产第一区二区三区最新章节 | 中文在线资源观看网站视频免费不卡 | 久久动漫亚洲| 欧美视频一区在线| 欧美亚洲免费| 欧美精品成人| 午夜精品电影| 欧美日韩国产高清| 久久精品亚洲一区二区三区浴池| 欧美日韩在线大尺度| 久久国产福利| 国产精品久久毛片a| 亚洲精品在线免费观看视频| 国产亚洲视频在线| 亚洲伊人观看| 亚洲伦理在线免费看| 欧美99久久| 欧美亚洲在线播放| 国产精品99免费看|