12月3日消息，近日國產高端分析儀器產品企業聚光科技在互動平臺表示，“公司的半導體專用ICP-MS已實現銷售，同時部分產品(科學儀器)正在集成電路制造頭部企業測試中，尚未正式簽署合同；公司研發的ICP-MS等高端質譜儀屬于美國商務部對實體名單企業進行出口管制的設備。”

資料顯示，聚光科技于2015年分拆自身質譜業務成立子公司譜育科技，譜育科技已掌握多個質譜分析技術平臺，針對半導體行業檢測需求，推出一系列高精度檢測儀器及在線監測系統，助力行業突破“卡脖子”關鍵技術。

布局半導體全產業鏈精密檢測

半導體產品制造過程分為晶圓加工、氧化、光刻、刻蝕等八大步驟，涉及硅片、電子氣體、光掩模、光刻膠配套化學品等多類制造材料。統計數據顯示，半導體元件制造業中約50%的產率損失是由產品及材料制造流程中的微量雜質污染導致。

ITRS（國際半導體技術線路圖）提出，在超純水、電子化學品、電子特氣、晶圓制造環境等各個環節，均需進行嚴格的環境污染管控及污染物檢測；如何將污染降低到最小是半導體制程過程提升良率的難點。半導體器件生產過程中涉及的化學品種類繁多、測試元素種類眾多且檢測精度要求ppt量級，都對設備性能及操作人員的污染控制技術提出苛刻要求。另外，隨著半導體器件的尺寸不斷縮小、芯片中元件的密度不斷增加，生產過程中的污染控制也愈發嚴格。

據介紹，ICP-MS技術尤其四極桿型ICP-MS技術具備極低的檢測限和快速多元素測定功能，已逐漸成為半導體行業污染分析實驗室的標準技術，在硅片表面雜質分析、超純水、超純試劑分析、高純氣體分析等多個方面應用廣泛。目前，半導體行業所使用的ICP-MS基本被美國及日本廠商壟斷。

公開資料顯示，譜育科技深耕高端科學儀器創新，在高端質譜領域積累了離子阱、四極桿、三重四極桿、飛行時間等多個質譜分析技術平臺。公司已建立半導體潔凈實驗室（100級），在2021年相繼推出了冷模式ICPMS以及三重四極桿ICPMS/MS,兩款設備可以實現亞ppt級別的超痕量金屬檢測，打破了海外廠商對超痕量金屬測試設備的壟斷。此外，公司針對14nm、28nm等高端制程半導體企業開發的實時監測系統得到了各級集成電路基金的支持，其中一部分產品已經完成研發，處于樣板點建立階段。

基于譜育科技的研發實力，聚光科技于2020年成立半導體事業部，整合自身質譜、光譜、色譜等高精密檢測分析技術，以及各類進樣技術和軟件算法等綜合能力，推出一系列解決方案，覆蓋了痕量/超痕量金屬污染檢測、潔凈室AMC在線監測、蝕刻劑近紅外分析、特氣監測與預警等半導體全產業鏈精密檢測分析領域。

半導體設備國產化窗口期

據了解，半導體設備的產品研發及商業化流程分為可行性研究、產品開發及下線、客戶端認證、量產及生命周期維護四個階段。在客戶端認證階段，設備商需通過具體生產場景的技術驗證，并與客戶持續溝通、完善技術細節，之后設備供應商才會被納入客戶的合格供應商名單，整個驗證周期消耗時間平均在1年以上。較長的生產及驗證周期，也決定了半導體設備領域具有較強的客戶粘性，非必要情況下，下游客戶不會輕易更改產線設備。

目前，我國半導體行業配套的高端分析儀器市場長期被賽默飛、安捷倫、丹納赫等美國廠商所壟斷。數據顯示，2020年中國質譜儀進口金額15.27億元，占國內市場規模80%左右。

11月25日，美國商務部公告將12家中國企業加入實體清單，其中涉及半導體業務的企業有7家，包括國科微（300672）、新華三半導體等。據了解，被列入實體清單的企業未經美國商務部許可，不得自美國進口原材料及生產設備、無法利用美國研發成果或技術進行生產。中信證券分析稱，此事件反映了芯片制造所需的設備、材料等多個細分領域仍存在“卡脖子”環節。行業重視程度提升，將倒逼半導體供應鏈本土化進程加速。

SIA數據顯示，2021年9月中國半導體銷售額167.2億美元，同比增長24.3%，連續22個月同比正增長，增幅顯著高于全球水平，全球市場占比達35.36%。據國泰君安分析，行業高景氣的同時，產能持續緊張，中芯國際等龍頭廠商紛紛加大資本開支啟動新一輪擴產。在科技摩擦的背景下，國產設備導入機會提升，行業有望實現國產化產線整合。