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光刻機將成為歷史?麻省理工華裔研制出原子級別芯片技術

輕松突破 1nm 工藝
2023-06-09
來源:自主可控新鮮事

  出品丨自主可控新鮮事

  本文內容來源于365EDA電子論壇、21ic電子網等

原文鏈接:https://mp.weixin.qq.com/s/BMJdkyBkeIKl6L5Jpnw_nw


  過去,在摩爾定律的驅動下,晶圓廠一直在緊追先進工藝,這場決賽的最后僅剩臺積電、三星和英特爾這幾家。

  制程工藝的先進程度,也成為了全球晶圓代工領域的排名依據。目前,幾位晶圓代工巨頭在3nm、2nm競相追趕。其中,臺積電率先于去年宣布量產3nm芯片,并在近日透露已開啟2nm芯片試產前期工作,目標今年試產近千片。

  近日,三星半導體也宣布在其位于韓國的華城工廠開始量產全球最先進的3nm制程工藝,引起了業界的廣泛關注。

  就在眾大廠還在集中精力攻克3nm、2nm制程之時,一位27歲的華人將美國的芯片制造工藝突破到極限“1nm”,并稱未來可能不再依賴EUV光刻機,打破了世界難題。

  華裔研究生,率隊突破芯片制程極限

  近日,麻省理工學院(MIT)電氣工程與計算機科學系的華裔研究生朱佳迪(Jiadi Zhu),在Nature Nanotechnology發布的一篇論文,引起科技界轟動。

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  朱佳迪帶領團隊成功研制出原子級別厚度的芯片技術,這被認為是芯片行業又一個重要的技術突破。

  朱家迪的研究,突破了常溫條件下由二維(2D)材料制造成功的原子晶體管,每個晶體管只有3個原子的厚度,堆疊起來制成的芯片工藝將輕松突破1nm。甚至美媒喊出:這是屬于美國的榮耀!

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  朱佳迪拿著一塊8英寸的二硫化鉬薄膜CMOS晶圓

  更值得關注的是,朱佳迪帶隊研發的1nm芯片未來可能不再依賴EUV光刻機,這對于業界來說,才是重中之重。正如任正非所說:華為可以設計出世界上最先進的芯片,但是造不出世界上最先進的芯片。其原因就是缺少最先進的光刻機,而世界頂級的光刻機被荷蘭阿斯麥給把控。

  目前的半導體芯片都是在晶圓上通過光刻/蝕刻等工藝加工出來的三維立體結構,所以堆疊多層晶體管以實現更密集的集成是非常困難的 。而且,現在先進制程工藝的發展似乎也在1~3nm這里出現了瓶頸,所以不少人都認為摩爾定律到頭了。

  但是由超薄2D材料制成的半導體晶體管,單個只有3個原子的厚度,可以大量堆疊起來制造更強大的芯片。

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  正因如此,朱佳迪及其團隊研發并展示了一種新技術,可以直接在硅芯片上有效地生成二維過渡金屬二硫化物 (TMD) 材料層,以實現更密集的集成。

  但是,直接將2D材料生成到硅CMOS晶圓上有一個問題,就是這個過程通常需要約600攝氏度的高溫,但硅晶體管和電路在加熱到400攝氏度以上時可能會損壞。

  而朱佳迪等人開發出了一種不會損壞芯片的低溫生成工藝,可直接將2D半導體晶體管集成在標準硅電路之上。

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  此外,新技術還有兩個優勢:擁有更好的工藝+減少生成時間。

  之前研究人員是先在其他地方生成2D材料,然后將它們轉移到晶圓上,但這種方式通常會導致缺陷,進而影響設備和電路的性能,而且在轉移2D材料時也非常困難。

  相比之下, 這種新工藝會直接在整個8英寸晶圓上生成出光滑、高度均勻的材料層。

  其次就是能夠顯著減少生成2D材料所需的時間。以前的方法需要超過一天的時間來生成2D材料,新方法則將其縮短到了一小時內。

  “使用二維材料是提高集成電路密度的有效方法。我們正在做的就像建造一座多層建筑。如果你只有一層,這是傳統的情況,它不會容納很多人。但是隨著樓層的增加,大樓將容納更多的人,從而可以實現驚人的新事物?!?/p>

  朱佳迪在論文中這樣解釋,“由于我們正在研究的異質集成,我們將硅作為第一層,然后我們可以將多層2D材料直接集成在上面?!?/p>

  該技術不需要光刻機就可以使芯片輕松突破 1nm 工藝,也能大幅降低半導體芯片的成本,如果現階段的光刻機技術無法突破 1nm 工藝的話,那么這種新技術將從光刻機手中拿走接力棒,屆時光刻機也將走進歷史。

  業界呼吁:加強對半導體人才的重視

  據了解,朱佳迪于2015年入讀北京大學微電子專業,2019年本科畢業后,進入麻省理工學院電氣工程計算機科學系攻讀博士學位,為異構集成和3D IC研究組成員,研究重點是將新興的低維材料設備與設計技術協同優化 (DTCO) 方法相結合。

  朱佳迪的研究成果,對于芯片行業來說無疑是一項重大突破。與此同時,國內業界人士也紛紛感嘆,又一位優秀的華人為美國所用。

  事實上,半導體行業向來不乏華人的身影。我們最為熟悉的英偉達CEO黃仁勛,便是一個典型代表。

  黃仁勛于1963年2月17在中國臺灣省臺北市出生,祖籍浙江省青田縣。1993年黃仁勛創立英偉達,經過30年,英偉達市值突破萬億美元,創造了歷史。與此同時,黃仁勛身價也暴漲,突破330億美元,成為今年彭博億萬富豪榜上財富增值最快的人,同時也是單日財富增加幅度最大的一位。

  此外,AMD CEO蘇姿豐、臺積電創始人張忠謀、幫助光刻機廠商ASML坐上光刻機老大位置的林本堅等等都是華人。

  中微半導體創始人尹志堯,也是硅谷芯片大神。他曾總結稱,華人對美國集成電路歷史的發展做出了巨大貢獻。在創辦中微半導體發展國產刻蝕機之前,尹志堯曾在硅谷有一段工作經歷。他表示英特爾某些研究題庫組組長,經理絕大部分是華人,工藝集成部門最能干的幾位工程師多數也是華人。

  因此,尹志堯、任正非都曾呼吁國內要對人才加強重視。任正非曾說:“要讓中國的雞回中國下蛋?!币虼耍A為對待人才也從不吝嗇,“天才少年”計劃就是其吸引頂尖人才、重視人才的一項重要舉措。

  目前,我國半導體行業高端人才仍然存在較大缺口,若相關企業、科研機構能加強對這方面的重視,加大人才吸引力度,相信會有越來越多的人才回歸祖國,為中國半導體突破“卡脖子”難題做出貢獻。


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