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廣東發文大力推動光芯片關鍵材料及裝備研發和國產化替代

2024-10-22
來源:芯智訊

據廣東省人民政府網站消息,10月21日,廣東省人民政府辦公廳印發《廣東省加快推動光芯片產業創新發展行動方案(2024—2030年)》。要求加快開展光芯片關鍵材料研發攻關、推進光芯片關鍵裝備研發制造、支持光芯片相關部件和工藝的研發及優化。

具體來說:

加快開展光芯片關鍵材料研發攻關。大力支持硅光材料化合物半導體薄膜鈮酸鋰氧化鎵薄膜、電光聚合物、柔性基底材料、超表面材料、光學傳感材料、電光拓撲相變材料、光刻膠、石英晶體等光芯片關鍵材料研發制造。

推進光芯片關鍵裝備研發制造。大力推動刻蝕機、鍵合機、外延生長設備及光矢量參數網絡測試儀等光芯片關鍵裝備研發和國產化替代。落實工業設備更新改造政策,加快光芯片關鍵設備更新升級。

支持光芯片相關部件和工藝的研發及優化。大力支持收發模塊、調制器、可重構光神經網絡推理器、PLC分路器、AWG光柵等光器件及光模塊核心部件的研發和產業化。支持硅光集成、異質集成、磊晶生長和外延工藝、制造工藝等光芯片相關制造工藝研發和持續優化。


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