中文引用格式： 楊紹松，劉同慶. MEMS熱式氣體流量傳感器設(shè)計(jì)[J]. 電子技術(shù)應(yīng)用，2025，51(10)：112-116.
英文引用格式： Yang Shaosong，Liu Tongqing. Design of MEMS thermal gas flow sensors[J]. Application of Electronic Technique，2025，51(10)：112-116.
引言
在工業(yè)生產(chǎn)和過(guò)程控制等領(lǐng)域，為了提高產(chǎn)品質(zhì)量，很多關(guān)鍵指標(biāo)就需要精確計(jì)量。特別是在能源、醫(yī)療以及空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)等領(lǐng)域中，需要通過(guò)測(cè)得流體的流量來(lái)進(jìn)行生產(chǎn)的自動(dòng)化控制，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率，保證產(chǎn)品的質(zhì)量。
氣體流量傳感器在許多應(yīng)用領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用，許多工業(yè)過(guò)程的可行性和可靠性很大程度上取決于氣體流量的精確測(cè)量和控制[1]。汽車發(fā)動(dòng)機(jī)和家用供暖鍋爐的效率和污染物排放可以通過(guò)精確控制燃燒混合物來(lái)優(yōu)化。傳統(tǒng)的流量傳感器如差壓式流量傳感器、容積式流量傳感器等，其體積較為龐大，對(duì)于微小氣體流量的檢測(cè)不夠精確。而流量傳感器的精度、穩(wěn)定性及適應(yīng)工作環(huán)境能力、智能化水平和性能價(jià)格比等指標(biāo)極大地影響著社會(huì)各行業(yè)的發(fā)展。
20世紀(jì)60年代，隨著微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System, MEMS）技術(shù)的興起，基于MEMS技術(shù)制造出來(lái)的器件具有微型化與集成化的特點(diǎn)，故與傳統(tǒng)工藝制造出來(lái)的大型傳感器相比，其功耗更低，可進(jìn)一步提升工業(yè)生產(chǎn)控制系統(tǒng)的自動(dòng)化、智能化以及可靠性水平。
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作者信息：
楊紹松，劉同慶
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