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國內晶圓廠兩次包機搶運54噸滯留光刻膠

2021-11-06
來源:全球半導體觀察整理
關鍵詞: 光刻膠 晶圓 CSIA

隨著疫情反彈導致全球部分地區的海運緊張、港口和通關阻滯,運輸存儲、交期相對敏感的電子材料供應鏈仍然危機重重。據CSIA(中國半導體行業協會)消息,8月2日,上海市集成電路行業協會收到中芯國際、華宏虹力等公司的反饋,浦東國際機場由于疫情突發,導致冷鏈運輸貨物分撥不暢,大量貨物滯留在海外。其中便包括光刻膠。

光刻膠又稱光致抗蝕劑,它是指由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分構成的對光敏感的混合液體。在紫外光、電子束、離子束、X 射線等輻射的作用下,其感光樹脂的溶解度及親和性由于光固化反應而發生變化,經適當溶劑處理,溶去可溶部分可獲得所需圖像。

光刻工藝是指在光照作用下,借助光刻膠將掩膜版上的圖形轉移到基片上的技術,在半導體制造領域,隨著集成電路線寬縮小、集成度大為提升,光刻工藝技術難度大幅提升,成為延續摩爾定律的關鍵技術之一。同時,器件和走線的復雜度和密集度大幅度提升,高端制程關鍵層次需要兩次甚至多次曝光來實現。其中,光刻膠的質量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關鍵因素。目前,高端光刻膠市場主要由日本和美國光刻膠巨頭主導。

此外,由于光刻膠保質期短(平均6個月左右),長期滯留不僅貨物本身會造成損失,中芯國際、華虹集團等企業也會因光刻膠短缺存在停工停產的風險。

經上海市集成電路行業協會與上海市經委運行處商議,采用“包機”的形式將自8月初開始滯留的貨物一次性運輸至上海。8月31日,上海市集成電路行業協會召集國際知名光刻膠供應商杜邦、默克、住商、信越等企業討論“包機”紓困方案。

截至目前,在供應鏈與東航物流、上海海關、浦東機場海關等多部門的支持下,上海市集成電路行業協會分別于9月10日和10月17日完成2次包機任務,共運輸光刻膠53.78噸。




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