最近幾年，中國半導體設備廠商不斷通過各大晶圓廠的產線驗證，進入了商業化供貨階段。伴隨著2022年，中芯國際臨港12英寸晶圓代工生產線項目順利封頂、上海積塔先進車規級芯片擴產項目的開工、華潤微電子重慶12英寸晶圓制造生產線以及先進功率封測基地實現通線等晶圓項目的持續推進。國產半導體設備供應商在企業營收、設備中標等方面均迎來良好的增長。
01
凈利潤集體爆發
半導體設備國產替代的黃金浪潮已然開啟，晶圓廠擴產潮也使得多家設備廠商在2022年度經營業績表現亮眼。
北方華創同比增長94．91％—141．32％
1月11日，北方華創公告，預計2022年度凈利潤21億元－26億元，同比增長94．91％—141．32％。公告顯示，2022年度公司克服了供應鏈等不利因素的影響，保障了生產經營的正常運行，實現客戶訂單有序交付，全年電子工藝裝備和電子元器件業務經營業績均實現了持續增長。北方華創主營業務包括電子工藝裝備和電子元器件。電子工藝裝備主要應用于集成電路、先進封裝、半導體照明、新型顯示等領域。
盛美上海同比增長125．35％—170．42％
1月30日，盛美上海發布業績預告，預計2022年年度實現歸屬于母公司所有者的凈利潤人民幣6億元－7．2億元，較上年同期相比，將增加約3．34億元－4．54億元，同比增長125．35％—170．42％。業績變動主要原因是，受益于中國半導體行業設備需求的不斷增加，銷售訂單持續增長；新客戶拓展、新市場開發等方面均取得一定成效；新產品得到客戶認可，訂單量穩步增長。盛美上海主營業務為半導體清洗設備。
長川科技同比增長106．20％—138．27％
1月19日，長川科技披露2022年度業績預告，公司預計2022年度實現歸屬于上市公司股東的凈利潤4．50億元－5．20億元，同比增長106．20％—138．27％。公司經營業績較上年同期上升的主要變動原因包括：業務規模的穩步擴大以及各類產品收入結構優化，高端品類收入占比持續上升等。長川科技主營產品包括測試機、分選機、探針臺、AOI設備和自動化設備。
中微公司同比增加6．78％—18．64％
1月30日，中微半導體設備（上海）股份有限公司發布公告稱，公司預計2022年度實現歸屬于母公司所有者的凈利潤為10．8億元—12億元，同比增加6．78％—18．64％。公告稱，公司的等離子體刻蝕設備在國內外持續獲得更多客戶的認可，市場占有率不斷提高，在國際最先進的5納米芯片生產線及下一代更先進的生產線上均實現了多次批量銷售。中微公司主營業務是聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領域的等離子體刻蝕設備、深硅刻蝕設備和MOCVD設備等關鍵設備的研發、生產和銷售。
華海清科同比增長120．4％—160．75％
1月19日，華海清科發布業績預告，公司預計2022年年度實現歸屬于母公司所有者的凈利潤為4．37億－5．17億元，較上年同期相比增加約2．39億元－3．19億元，同比增長120．4％—160．75％。報告顯示公司全年CMP設備及配套服務、晶圓再生業務等都實現了持續增長。華海清科主營業務包括CMP設備、減薄設備、供液系統、晶圓再生、關鍵耗材與維保服務等。
半導體設備廠商在去年得以凈利潤大增，主要受益于國內半導體行業良好的發展態勢，國內半導體行業設備需求增加。以中芯國際為例，目前其在上海、北京、深圳、天津各有一座12英寸晶圓廠在建中。中芯國際晶圓廠擴產，近八成資本開支將用到購買設備上。另外，隨著創新芯片的制程驅動，單位產能投資額將逐步提升，14納米技術節點的產線投資額是90納米的3．3倍左右，3納米技術節點的產線投資額是14納米的3．4倍左右。這些驅動因素都給國產半導體設備、材料帶來新的增量市場，已經具有成熟產品的上市公司迎來強勁的增長機遇。
02
中標成績亮眼
根據廣發證券統計數據顯示，2022年招標量規模顯著，以積塔、華虹、燕東招標為主。2022 年，統計樣本中的晶圓產線合計招標 1060 項，其中，積塔、華虹、燕東的設備招標量位居前三。整體而言，招標以量測設備、沉積類設備和刻蝕設備為主。其中，2022 年，積塔合計招標 502 項，以量測、沉積類、刻蝕設備居多；華虹合計招標 263 項，以量測、檢測、熱處理設備居多；中芯合計招標 148 項基建項目；長鑫合計招標 12 項基建項目。
中標方面，2022 年，統計樣本中的晶圓產線合計中標 1040 臺設備，以量測、沉積類、熱處理設備居多；國產設備整體中標比例約30％，其中，硅片再生、氣液系統、去膠、濕法腐蝕、PVD 設備的國產中標比例較高。
其中，國內半導體設備廠商合計中標 231 臺設備，北方華創、創微微電子、中微公司、萬業企業中標量領先，分別中標 64 臺、28 臺、22 臺、21 臺設備。2022 年，國內半導體設備廠商合計中標量在對應工藝環節的中標比例為 26％。盛美上海的硅片再生設備、北方華創的 PVD 設備和氧化設備、創微微電子的濕法腐蝕設備在對應工藝環節的中標比例領先，分別為 67％、50％、50％、47％。
如此看來，國內各大半導體設備廠商在項目推進、設備交付、新品研發等方面均取得進展，正在提高國產率的道路上向前沖鋒。
03
設備國產化正沖鋒
根據SEMI數據顯示，2022年中國晶圓廠商半導體設備國產化率較2021年明顯提升，從21％提升至35％。國內廠商在檢測設備、刻蝕設備、PVD和CVD設備、氧化擴散設備等已經實現了部分國產替代，特別是檢測設備替代速度較快。去膠設備國產采用率已達91％。屹唐股份在國內半導體去膠設備領域中占主導地位。
刻蝕設備方面，中微公司介質刻蝕已經進入臺積電7納米／5納米產線，是唯一一家進入臺積電產線的國產刻蝕設備生產商；北方華創在ICP刻蝕領域優勢顯著，覆蓋8 英寸、12 英寸55－28納米制程，已進入中芯國際14納米產線驗證階段；屹唐股份干法刻蝕設備可用于65納米—5納米邏輯芯片。
清洗設備方面，國產替代率為 20％左右。主要是盛美上海、北方華創、至純科技、芯源微貢獻的設備收入占比。
薄膜沉積設備方面，國內廠商錯位發展，拓荊科技引領PECVD國產化，已開展10納米及以下制程產品驗證測試。北方華創PVD優勢顯著，中微公司的MOCVD設備份額全球前三，共同受益國產化率提升。
當前光刻、涂膠顯影設備國產化率接近為0，上海微電子、芯源微分別為國內目前唯一供應商。
離子注入設備的壁壘超高且國產化率極低，主要依賴萬業企業（凱世通）和中科信，兩家公司目前均有離子注入機臺導入客戶驗證，有望彌補國內半導體設備行業的短板。2022年1－10月份華虹無錫和積塔半導體招標中，離子注入機的國產化率僅為3％，國產替代空間較大。
分制程來看，SEMI數據顯示，目前在28納米及以上領域，中國半導體設備廠商已經基本實現了全覆蓋，國產化率達到了80％以上。而在14納米工藝上，中國的半導體設備廠商，也實現了50％以上的覆蓋，國產化率可能達到了20％以上。目前在14納米以下，國產化率還非常低，可能只有10％左右。中國半導體設備在中高制程的能力欠缺還較為嚴重。
04
更大的機遇迎接更大的挑戰
國產半導體設備廠商面對的不僅有機遇，在這背后還有更大的挑戰。
從半導體設備的世界格局來看，幾乎被美、日、荷所壟斷，核心設備如光刻、刻蝕、PVD、CVD、氧化／擴散等設備的Top3市占率普遍在90％以上。然而近期，美國、荷蘭和日本三國的國家安全事務官員進行了高級別談判，就限制向中國出口一些先進的芯片制造設備達成協議，將把美國于2022年10月采取的一些出口管制措施擴大到荷蘭阿斯麥、日本東京電子和尼康等公司。具體細則尚未公開。
中國半導體產業的國產化“知易行難”。除了技術差距和美國的限制之外，在投資、人才、市場競爭、戰略決心和耐心等方面，中國都面臨著極大的挑戰。不過，中國半導體設備零部件廠商目前營收規模較小，正在延續海外龍頭廠商產品品類和應用領域擴張的成長路徑，隨著國產半導體設備廠商的快速成長，以及通過進入海外半導體設備廠商供應鏈。雖然目前國內半導體設備零部件企業處于國產替代早期階段，但國內半導體設備零部件廠商未來有望持續高速成長。
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