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SK海力士計劃2026年首次導入ASML High NA EUV光刻機

2024-08-20
來源:C114通信網

據韓媒 ZDNet Korea 報道,SK 海力士 EUV 材料技術人員當地時間本月 12 日出席技術會議時向媒體表示,該企業計劃于 2026 年首次導入 ASMLHigh NA EUV 光刻機

SK 海力士的一位工程師表示該公司新近成立了一個 High NA EUV 研發團隊,正致力于將 High NA EUV 光刻技術應用到最先進 DRAM 內存的生產上。

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▲ ASML EXE:5000 High NA EUV 光刻機

綜合已有報道,在幾大先進邏輯制程與存儲半導體企業中,英特爾率先拿下了全球第一臺商用 High NA EUV 光刻機,其第二臺 High NA 機臺也已在運至俄勒岡州研發晶圓廠的途中。

而臺積電和三星電子兩家企業用于研發目的的首臺 High NA EUV 光刻機也分別有望于 2024 年內、2024 年四季度至 2025 年一季度交付。


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