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KLA-TENCOR 針對科學與太陽能測量需求推出新型 P-6 表面輪廓儀系統

2008-07-18
作者:KLA-Tencor 公司
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kla-tencor" title="kla-tencor">kla-tencor.com/">KLA-Tencor 公司(納斯達克" title="納斯達克">納斯達克股票代碼KLAC今天發布其最新的探針式表面輪廓測量系統 P-6?,該系統針對科學研究與生產環境例如,光電太陽能電池制造)提供一組獨特的先進功能組合P-6 系統受益于在先進半導體輪廓儀系統上開發的測量技術,但卻采用了較小與較經濟的桌面型機臺設計,可接受最大至 150 毫米的樣本。?

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KLA-Tencor 的成長與新興市場集團副總裁 Jeff Donnelly 表示:“我們對 P-6 探針系統的推出感到振奮,該系統將為科學與太陽能客戶提供在應用方面的最佳功能組合。對于太陽能市場,P-6 擁有在開發階段提高太陽能電池效率,以及監控生產制程" title="制程">制程質量所需的分辨率、掃描質量和自動控制能力?!?/SPAN>?

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融合 KLA-Tencor 的自動化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能,P-6 探針式輪廓儀充分承襲了最佳技術與效能的傳統: ?

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·????????????? 低噪聲基底可改善表征微小表面特征的測量靈敏度?

·????????????? 小于 6 埃的步進高度可重復性,確保了嚴苛的制程控制?

·????????????? 150 毫米 X-Y 樣本載臺可實現覆蓋整個基底的單一測量?

·????????????? 2D" title="2D">2D 應力測量與分析可將缺陷降至最低并提升良率?

·????????????? 功能強大且容易使用的分析軟件,提供高階應用的靈活性?

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P-6 輪廓儀已通過主要太陽能產品制造商 BP Solar 的合格認證。BP Solar 技術副總裁 Eric Daniels 表示:“我們對 KLA-Tencor P-6 系統的評估證明,它對于多種表面測量應用系統的一系列制程條件具有高靈敏性,其中包括 ARC 薄膜、導線觸點及前表面紋理結構。對于支持我們的技術開發與生產改善,P6 將發揮重要價值?!?/SPAN>?

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P-6 系統將于 2008 7 15 17 日在舊金山舉辦的 InterSolar 北美展會第 9252 KLA-Tencor 展臺上展出。?

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KLA-Tencor KLA-Tencor 專為體和相關產業提供制程控制及良率" title="良率">良率管理解決方案的全球先供商。公司在美國加州的密必達市,售及服網遍布全球。KLA-Tencor 身于準普 500 公司之一,并在斯達克全球精上市交易,其股票代碼為 KLAC。有關該公司的更多信息,網站 http://www.kla-tencor.com。?

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