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縮小芯片上重要器件的關(guān)鍵尺寸能夠讓芯片廠生產(chǎn)出更快的微處理器，但在成像時(shí)用于曝光光罩的光波波長(zhǎng)對(duì)于能夠形成的器件有最小關(guān)鍵尺寸的限制。在過(guò)去幾代的芯片器件上，半導(dǎo)體行業(yè)一直使用深紫外線 (DUV) 光波。以后更短的波長(zhǎng)將是 EUV 的天下。專家預(yù)測(cè)，使用EUV 光刻有可能創(chuàng)造出比當(dāng)今最強(qiáng)大的芯片還要快一百倍的器件。?
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KLA-Tencor 的副總裁兼工藝控制" title="工藝控制">工藝控制信息部的總經(jīng)理 Ed Charrier 表示：“業(yè)界光刻技術(shù)藍(lán)圖將 EUV 列為幾年內(nèi)生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的一項(xiàng)潛在技術(shù)，但還有若干技術(shù)障礙需要克服。我們的新版計(jì)算光刻工具 PROLITH 12 讓研究人員能夠精確地模擬 EUV 光波與光罩、成像材料及工藝之間的相互作用，以預(yù)測(cè)晶片上圖案的結(jié)果。有了 PROLITH 12，研究人員無(wú)需使用試驗(yàn)材料和任何制程設(shè)備，他們也不必經(jīng)歷數(shù)百個(gè)測(cè)試晶片光刻的昂貴和漫長(zhǎng)的過(guò)程。”?
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光刻波長(zhǎng)的變化歷來(lái)是一項(xiàng)重大任務(wù)，因?yàn)楸仨氶_(kāi)發(fā)和測(cè)試新的掃描曝光機(jī)、新的光刻膠材料和新的光罩。轉(zhuǎn)換到 EUV 光刻會(huì)帶來(lái)新的挑戰(zhàn)，即必須使用來(lái)自不透明光罩的反射光來(lái)刻畫晶片，因?yàn)楝F(xiàn)在沒(méi)有光罩材料對(duì) EUV 光是透明的。這個(gè)重大變化造成印在晶片上的圖案不對(duì)稱。PROLITH 12 就是專為解決 EUV 特有的挑戰(zhàn)而設(shè)計(jì)的。 ?
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作為業(yè)界領(lǐng)先的 PROLITH 平臺(tái)的升級(jí)版，PROLITH 12 是 KLA-Tencor 先進(jìn)光刻解決方案組合中的拳頭產(chǎn)品。PROLITH 12 已被美國(guó)和亞洲的研發(fā)機(jī)構(gòu)及先進(jìn)的內(nèi)存制造商采用，幫助研發(fā)工程師判斷 EUV 光刻的可行性，并確定 EUV 能夠獲得成功的條件。? ?
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關(guān)于 KLA-Tencor：? ?
KLA-Tencor 公司是專為半導(dǎo)體和相關(guān)微電子行業(yè)提供工藝控制及良率管理解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。該公司總部設(shè)在美國(guó)加州的Milpitas，銷售及服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布全球。KLA-Tencor 躋身于標(biāo)準(zhǔn)普爾 500 強(qiáng)公司之一，并在納斯達(dá)克全球精選市場(chǎng)上市交易，其股票代碼為 KLAC。有關(guān)該公司的更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn) http://www.kla-tencor.com。(KLAC-P).?
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前瞻性聲明：?
本新聞稿中除歷史事實(shí)以外的聲明，例如關(guān)于向 EUV 的預(yù)期技術(shù)轉(zhuǎn)移及解決有關(guān)此預(yù)期轉(zhuǎn)移挑戰(zhàn)的 PROLITH 12 的能力，均為前瞻性聲明，并受到《1995 年美國(guó)私人證券訴訟改革法案》(Private Securities Litigation Reform Act of 1995) 規(guī)定的“安全港”條款的制約。這些前瞻性聲明基于當(dāng)前信息及預(yù)期，且包含諸多風(fēng)險(xiǎn)與不確定性。由于各種因素，實(shí)際結(jié)果可能與此類聲明中的預(yù)計(jì)結(jié)果實(shí)質(zhì)不同，包括由于未曾預(yù)料的成本或性能問(wèn)題而導(dǎo)致延遲采用新技術(shù)。?